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真空探针的测量范围相当广泛，具体取决于探针台的型号、配置以及测试需求。以下是对真空探针测量范围的一些具体说明：
一、温度范围
真空探针台的温度范围通常较广，以适应不同材料的测试需求。某些型号的温度范围可达80K至475K或7K至675K，覆盖了从低温到高温的广泛区间。这使得真空探针能够测量在不同温度条件下材料的电学、光学等性能。
二、测量对象
真空探针可用于测量薄膜器件的光、电和变温等方面的性能。例如，可用于测量电学特性（如I-V特性）、光电特性、发光二级管（LED）、场效应晶体管（FET）等半导体器件的参数，以及材料介电特性等。
三、测量精度与频率
探针臂移动距离：探针臂在X、Y、Z方向上的移动距离决定了探针能够到达的测试区域。例如，某些型号的探针臂在X方向上的移动距离可达51mm等。
测量频率：探针台能够进行直流到高频（如50MHz）的电学测量，以适应不同频率下的测试需求。
控温稳定性：好的探针台通常具有优于±100mK的控温稳定性，以确保测试结果的准确性。
四、其他技术指标
光学分辨率：显微镜系统的光学分辨率决定了能够观察到的小细节尺寸。某些探针台的显微镜系统光学分辨率优于4μm，使得观察样品细节成为可能。
真空度：真空探针台的真空度是衡量其性能的重要指标之一。高真空度可以减少空气阻力、空气振动等干扰因素，从而获得更准确的实验数据。例如，某些探针台的真空度可达2×10^-5 Torr或更低。
样品台尺寸：样品台尺寸决定了能够放置的样品大小。常见的样品台尺寸包括2至8英寸等，可根据测试需求选择合适的样品台尺寸。
综上所述，真空探针的测量范围涵盖了温度、测量对象、测量精度与频率以及其他技术指标等多个方面。这些指标共同决定了真空探针的性能和适用范围，使得真空探针能够广泛应用于材料科学、物理学等领域的测试与研究中。
