真空探针台能实现哪些具体测试功能？

2026-07-02 02:10:01

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真空探针台能实现哪些具体测试功能？

真空探针台可在高真空、宽温域的环境下，对晶圆、芯片、各类功能材料开展多阁维度的非破坏性测试，核心具体功能分为以下几类：

一、核心电学测试功能

这是真空探针台基础的核心能力，可在DC至67GHz的宽频率范围内完成多类电学参数表征：

基础特性测试：支持I-V（电流-电压）、C-V（电容-电压）、R-T（电阻-温度）、R-I（电阻-电流）、Cp-D（电容-损耗）、介电常数等参数的准确测量，漏电流检测精度可低至10fA，适配微弱信号的采集需求。

特殊电学测试：可完成脉冲/动态I-V、射频阻抗匹配、霍尔效应及磁输运性质测试，部分带强磁场配置的型号还能开展超导材料、自旋电子器件的低温量子输运特性验证。

二、热学与环境模拟测试功能

依托宽温域温控样品台，可在-196℃~1000K的超宽温度区间内开展测试：

可实现不同温度下的器件性能稳定性验证，比如功率器件高温可靠性评估、超导材料临界转变温度测定，同时真空环境能避免低温测试时样品表面结霜、高温测试时样品氧化，保障测试数据的准确性。

部分型号支持气敏测试，可在真空腔体中通入特种气体，完成气敏元器件在不同温度、不同气体氛围下的性能响应测试。

三、光学与光电测试功能

真空探针台的腔体顶部预留光学视窗与透光孔，可直接对样品台的待测件进行打光测试：

支持真空环境下的光电效应、宽波段光电探测、太阳能电池光电转换效率等同步测试，可外接光谱仪、锁相放大器等设备，实现光信号与信号的同步采集，适配光电器件、光电材料的性能表征需求。