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真空腔体讲解一下真空系统的组成

2022-11-18 13:42:56

真空腔体讲解一下真空系统的组成


实验室真空系统实际上是真空装置的类似名称。真空机组是由几台真空泵组成的一套闭环真空设备。它不一定有散热器、冷凝器之类的一些设备。一般来说,能称之为真空系统的就是各种零件齐全。真空应用设备有很多种,但无论是哪种真空应用设备,都有一套抽气系统来排除被抽真空容器内的气体,从而在真空容器内获得所需的真空条件。例如,用于真空处理的容器通过管道和阀门与真空泵连接。当真空泵抽空容器时,容器应该具有真空测量装置,这构成了非常简单的真空泵系统。


实验室真空系统


那么真空系统相对于机组有多少台泵呢?这个不确定。先来了解一下可能泵的名词解释。


(1)主泵:在真空系统中,用来获得所需真空度以满足特定工艺要求的真空泵,如真空镀膜机中的油扩散泵,就是主泵。


(2)前级泵:用于保持某台真空泵的前级压力低于其临界前级压力的真空泵。例如,设置在罗茨泵前面的旋片泵或滑阀泵就是前级泵。


(3)粗抽泵:在大气压下开始抽气,将系统压力抽至另一台真空泵开始工作的真空泵。例如,真空镀膜机中的滑阀泵就是原油泵。


(4)维护泵:在真空系统中,气体体积很小,不能有效利用前泵。为此,配置了一台小容量的辅助泵,以保持主泵工作。这个泵叫做维护泵。如果扩散泵出口装有小型旋片泵,则为维护泵。


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