一、基本注意事项
设备用途:真空设备主要用于排除实验过程中大气对样品纯净度的影响,确保实验结果的准确性。
携带物品:实验操作人员在操作过程中切勿携带电子产品,以防止干扰真空设备的正常运行或造成安全隐患。
个人防护:实验操作人员需佩戴真空设备专用操作手套进行操作,避免直接接触真空设备,以防手部受伤或污染设备。
二、设备保存与维护
配件保存:真空设备配件应在干燥箱内保存,并远离具有腐蚀性的化学气体或液体,以防止配件受损或失效。
设备清洁:真空设备需定期进行擦拭,应选用无尘纸或无尘布配套酒精或丙.酮进行清洁,以保持设备表面的清洁度和光泽度。
实验室环境:实验室应保持一定的干燥度,实验操作人员应每日检查实验室的湿度及温度情况,确保实验环境符合真空设备的使用要求。
三、设备操作规范
通风条件:实验室应保持良好通风,以避免机械泵油气等有害气体积聚对设备和实验人员造成影响。
油泵维护:如果真空设备的前级泵使用油泵,应定期更换干燥剂和机油,以确保油泵的正常运行和延长使用寿命。
分子泵温度:操作人员应关注真空设备所使用分子泵的温度,避免过热导致仪器寿命缩短。在分子泵转速降至安全线以下后,应放入氮气或液氮进行冷.却。
离子泵启动:操作人员应在真空度达到1×10^-8mbar或以上时启动离子泵,以确保离子泵的正常工作和运行。
阀门操作:实验人员在操作时,应严格按照各真空设备操作步骤进行阀门开关,以防止气压差所引起的倒抽现象,确保实验的顺利进行和设备的正常运行。
四、安全注意事项
电源接口:操作人员应密切关注高压离子泵电源接口的损耗程度,以防止触电事故,确保人身安全。
警报处理:当真空设备发出警报时,切勿再进行实验,应立即通知实验室负责人及维修人员进行检查和处理,以防止故障扩大或造成安全事故。
紧急疏散:如遇特殊情况或紧急情况,应立刻通知所有在场者迅速离开实验室,并切断真空设备电源,以确保人员安全。
五、其他注意事项
设备冷.却:真空系统沉积涂层完毕后,样片应随炉冷.却至真空室室内温度小于50度时再暴露大气,以防止样品受损或污染。
烘烤温度:真空室打开真空烘烤时,温度不宜过高,真空室内及观察窗温度不得超过规定值(如100度),以防止设备受损或引发安全事故。
长时间停用:设备长时间不使用时,抽真空保压,并将分子泵冷.却水排干净,避免水锈污染堵塞分子泵水路,影响设备的正常运转。
综上所述,实验室真空系统的使用需要严格遵守各项注意事项和操作规程,以确保设备的正常运行和实验结果的准确性。同时,也需要加强设备的维护和保养工作,延长设备的使用寿命和提高设备的性能。
