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真空系统多种多样,但基本构成大致相同。了解真空系统的基本构成,不仅有助于设备操作,对于自己组装真空系统也有极大的参考性。
真空系统的压力比周围的大气压低,因此必须要有一个密封的容器。这个容器被称为真空腔。要使真空腔内成为真空状态,必须使用排气泵来排气。
为了知道真空腔内的压力,在真空腔上安装一个真空计(Vacuum Gauge)。为了在排气泵停止时也能保持真空腔内的压力,在排气泵和真空腔之间设置一个阀门。真空腔的盖子受内外压力差被紧紧吸在真空腔上。因此要打开盖子时首先要通过放气阀门往真空腔内导入气体,以使内外压力均等。同时为了防止转轮泵的油倒流,转轮泵停止时在吸气口一侧要开放成大气压状态。为此,在吸气口附近也需要一个放气阀门。
要达到10-6Pa的真空度时,设备的构成为图C所示。分子泵TMP不能在大气压状态中运行。因此要和转轮泵结合进行两个阶段的排气。首先由RP 泵从大气压状态到10Pa左右进行阶段排气,此时的真空度有Pirani(皮喇尼)真空计确认。保持RP泵的运行状态然后再启动TMP,真空泵的压力由在真空状态下可以使用的电离真空计来监控。
以上是真空探针台浅谈真空系统的构成。
