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低真空系统的获得
获得低真空常采用机械泵，机械泵是运用机械方法不断地改变泵内吸气空腔的体积，使被抽容器内气体的体积不断膨胀，从而获得真空的装置。
它可以直接在大气压下开始工作，极限真空度一般为1.33-1.33x10-2pa, 抽气速率与转速及空腔体积V的大小有关，一般在每秒几升到每秒几十升之间。
高真空系统的获得
目前，广泛使用的获得高真空的泵就是扩散泵。扩散泵是利用气体扩散现象来抽气的，它不能直接在大气压下工作，而需要一定的预备真空度（1.33-0.133Pa）。
油扩散泵的极限真空度主要取决于油蒸汽压和气体分子的反扩散，一般能达到1.33x10-5---1.33x10-7pa。 抽气速率与结构相关，每秒几升--几百升不等。
